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台积电年底试产10纳米

2014年9月4日 下午12:53

台积电获得跨足10纳米以下领先制程最要害的极紫外光(EUV)机台,脱节半导体摩尔定律可能受到的物理极限约束,本钱还有再降低空间,将来将继续用来出产高通、苹果等大客户高阶芯片。

EUV机台要价9000万欧元(约新台币36亿元),被誉为是「半导体设备中的钻石」,因为造价贵重,已竖起进入门槛。

据了解,除了台积电以外,三星、英特尔、IBM也是向艾司摩尔下单EUV机台的「大户」,这些公司将同时获得进入10纳米以下代代制程的门票,半导体业「愈高阶制程愈走向寡占」的态势愈加确立。

主导EUV设备开发的艾司摩尔(ASML)亚太区技能推广协理郑国伟昨(3)日在台北世界半导体展(SEMICON Taiwan)开幕首日,泄漏有关消息。

他表示,艾司摩尔已接获多家半导体大厂共11台EUV订单,首批六台已交货,台积电在出货名单之列。意料本年下半年到下一年第1季,另五台设备也将完结交货。

艾司摩尔这项宣告,泄漏从前遭遇技能瓶颈的EUV设备,战胜要害输出率不佳的最大瓶颈,有助半导体厂加快导入10 纳米量产脚步。

设备商泄漏,艾司摩尔现有11台EUV订单傍边,有两台是台积电下单,其中一台已在台积电竹科12厂装置结束,正进行10纳米制程研发,另一台可能在下一年首季于台积电中科厂装设。台积电昨未对此置评。

业界评价,台积电有了EUV机台以后,领先制程推动脚步将更如虎添翼,甩开本来业界忧心碍于物理约束、恐无法顺畅导入10纳米以下制程的疑问,若良率提高情况顺畅,有助台积电本钱继续降低。

郑国伟说,艾司摩尔有信心,帮忙客户在本年底前试产10纳米制程,并于2016年导入量产,后续也将着手为更领先的7纳米制程做准备。

业界预期,台积电10纳米制程量产以后,前期仍将接受高通、苹果等需要更省电、更高阶制程需要的行动通讯芯片大客户订单。

艾司摩尔在开发EUV机台前期,考量有关出资巨大,对台积电、英特尔、三星提出出资邀约,期望集结各大厂的资源共同开发,三家业者随后都同意入股。台积电在2012年10月出资8.38亿欧元(约新台币335.2亿元),获得艾司摩尔5%股权。

极紫外光(EUV)机台堪称下代代半导体设备最贵重、体积最大的核心设备,这项设备的零组件,须透过11个架次的波音747飞机载送,才干完结最终拼装。

据了解,EUV设备机台已尽量削减晶圆进出流程,但因必须在真空环境下进行曝光,否则会让空气吸收紫外光而影响曝光显影的精准度,因而整部设备体积适当巨大,必须先拆解零组件,再于晶圆厂内拼装。

半导体厂需挑高更高「超大型晶圆厂」,才干铺排EUV机台;机台转移过程也大费周章,要11架次的波音747飞机运送。

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